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羅茨真空泵是在0.1-1000Pa真空范圍具有較大抽速且成本較低的設備,他可以與多種真空泵組合組成真空機組,在較低壓力時有效的提高抽速,擴大前級泵抽速范圍。組合干式螺桿真空泵使用可確保被抽容器更加潔凈,系統(tǒng)更可靠。所有產品在出廠前都做動平衡和泄露測試。
氣體通過進氣管路吸入泵腔內,由主真空泵排放至前級泵吸入口。由于轉子旋轉時,轉子和機器外殼間隙較小(0.2~0.6mm),所以本產品可以實現潔凈真空排放,即機器外殼和轉子無需使用潤滑油。同時,因為轉子和機器外殼無接觸,即轉子在高速旋轉時(最高3600rpm),也可以實現轉子的半永久式使用。本產品不采用機械密封,長期化學作用不會導致軸承污染。
羅茨螺桿真空泵機組典型應用
化工和醫(yī)藥、半導體、溶劑回收、成型、結晶、干刻、濺鍍、蒸汽回收、高空模擬。
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